证券之星音讯，依据天眼查APP多个方面数据显现中微公司（688012）新取得一项发明专利授权，专利名为“避免下电极组件产生电弧放电的办法及等离子体处理设备”，专利申请号为CN7.8，授权日为2025年3月4日。

  专利摘要：本发明供给一种避免下电极组件产生电弧放电的办法及等离子体处理设备，所描绘的办法包含：丈量基片的直流自偏压，取得对应的自偏压丈量值；根据所述自偏压丈量值核算自偏压补偿值；向所述下电极组件施加榜首直流电压，所述榜首直流电压的电压值为所述自偏压补偿值，完成所述下电极组件与基片之间的电压差值小于预设的榜首阈值。其长处是：经过向下电极组件施加电压值为自偏压补偿值的榜首直流电压，有实际效果的减少了基片与下电极组件之间的电压差，大幅度的降低了深邃宽比刻蚀中下电极组件产生电弧放电的概率，提高了基片加工的安全性。

  今年以来中微公司新取得专利授权30个，较去年同期增加了233.33%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研制方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

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  证券之星估值剖析提示中微公司盈余才能平平，未来营收成长性一般。归纳基本面各维度看，股价偏高。更多

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